半导体制程温度传感器的详细资料

具有多种规格的“刀刃式”探头设计，及多点热电偶传感器

• K, R, S 或 B 型热电偶
• 多点测量热电偶 （通常为 3 至 5 点）
• 热电偶线使用氧化铝缘
• 可选带石英保护护套
• 采用 FEP 缘热电偶线及微型连接公头输出